實驗室6位一體水蒸氣蒸餾裝置通常采用預蒸餾的方法，水中氟化物在含高氯酸（或硫酸）的溶液中，通入水蒸氣，以氟硅酸或氫氟酸形式而被蒸出。

實驗室6位一體水蒸氣蒸餾裝置技術參數：

 實驗室6位一體水蒸氣蒸餾裝置在使用中應如何對儀器的操作進行維護保養呢？
一體化蒸餾儀是由6個單元的加熱裝置組成的，玻璃蒸餾器皿洗刷儀器時，應先將手洗凈，免得手上的油污附在儀器上，增加洗刷的困難，一般的全玻璃蒸餾器，如燒杯、燒瓶、錐形瓶、試管和量筒等，可以用毛刷從外到里用水刷洗，這樣可刷洗掉水可溶性物質、部分不溶性物質和灰塵。若有油污等有機物，可用洗潔精水溶液浸泡一段時間后，再用蘸有洗滌劑的毛刷擦洗，然后用自來水沖洗干凈，再用純化水潤洗內壁2～3次。洗凈的玻璃儀器內壁應能被水均勻地潤濕而無水的條紋，且不掛水珠。常使用磨口的玻璃儀器，洗刷時應注意保護磨口。 玻璃蒸餾器皿在使用后須立即清洗，針對濾器砂芯中殘留的不同沉淀物，采用適當的洗滌劑先溶解砂芯表面沉淀的固體，然后用減壓抽洗法反復用洗滌劑把砂芯中殘存的沉淀物全部抽洗掉，再用蒸餾水沖洗干凈。用來配制、盛放高濃度溶液的帶磨口塞的玻璃儀器，如，容量瓶、比色管、滴定管等，用后應及時把溶液倒出，廢棄處理或放入試劑瓶中貯存，并及時清洗，以防溶質析出，堵塞磨口塞，損壞玻璃儀器。 玻璃蒸餾器皿清洗步驟，切斷電源，關上自來水開關，移下冷凝管，但不需拆下塑料管。小心加入約100ml濃鹽酸待橫式燒瓶內，與瓶內的水稀釋成稀鹽酸，如積垢較多，鹽酸量可多一些。數分鐘后，由水位器放出，然后用自來水沖洗數次，為了清除微量鹽酸，可將燒瓶前后插動使不易清洗的死角也沖洗清潔為止。當再次蒸餾后，開始10分鐘內所蒸餾的水，舍去不用。 儀器的清洗，在蒸餾一段時間后，水垢就積聚在橫式燒瓶內及石英加熱管表面上，這時需要進行清洗，清洗的次數主要視自來水的硬度和使用時間而定，入儀器長時間不進行清洗，要影響蒸餾效果，嚴重的要損壞加熱管，并且清洗時間也要延長。